Прецизната обработка се отнася до общ термин за точност на обработка и повърхностно покритие, надвишаващо тези на конвенционалните методи за довършителни работи. Включва основно прецизно рязане (като диамантено пробиване и прецизно струговане) и високо-прецизно шлайфане. Неговата точност на обработка обикновено е 10~0,1 μm, със степен на толерантност IT5 или по-висока и грапавост на повърхността Ra под 0,1 μm. Този процес изисква високо-прецизни машинни инструменти и фино шлифовани режещи инструменти, постигащи високо-прецизна обработка чрез изключително малки дълбочини на рязане и скорости на подаване. В оборудването за лазерна обработка на полупроводници той прилага технологии като лазерно писане, маркиране и разделяне и включва проектиране и производство на високо{11}}прецизни оптични системи.
Този процес обхваща технологии като прецизно щамповане на полупроводникови оловни рамки и механична обработка на лопатки на ави-двигатели. моята страна е постигнала точност на обработка под-нанометър-ниво за оптични компоненти, пробивайки основни технологии като магнитореология и оборудване за полиране с йонен лъч. Политическите инициативи предлагат пробиви в ключови технологии за прецизно формоване и обработка на олекотени материали, формиране на система за съвместна иновация от материали, процеси и приложения в областта на олекотяването на автомобили. Машините за полиране с йонен лъч постигнаха минимална контролируема скорост на отстраняване на материала от 0,1 нанометра, осигурявайки техническа поддръжка за големи национални научни и технологични проекти, като например производството на интегрални схеми.
